RF Generator Repair

Main Parts Overhaul 수리 - 장비 수명연장가능 (Power Pack, Drive Excite, MOS FET, Capacitor etc...)
OEM SPEC에 의한 TEST 및 Calibration 가능
최대 2주 전세계 짧은 Lead time emergency 항시 대응
타사 대비 경쟁력 있는 가격
RF 전문 엔지니어의 기술적 노하우 보유
국내뿐 아니라 해외 시장 수리 실적 다수 보유
 

Remote Plasma Source Repair

  SPMS로 Actual Power Monitoring - 세부진단가능
New Parts Overhaul 수리 (chamber Block, Gas Nozzle, Consumable parts, PCB Board etc...)
Al Block 내부 New Anodizing Coating - 수명연장 가능
Full Auto System TEST Software 개발 - 세부진단가능
Al block 내부 구조 변경으로 Clean Efficiencty 향상 가능
ERP System으로 Block 별 체계적 이력관리 가능
Block 장기사용 시 , Clean Efficiency Low 발생되어 PM주기로 관리 및 교체를 권장함.
 
 
 
 
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